Reinraum ISO 7 mit Wandintegrierten Baugruppen
Aufgabenstellung: Für die Neuentwicklung von Halbleiter- komponenten musste ein Reinraum ISO- 7 gebaut werden mit der Vorbereitung eines Upgrades auf ISO 6. Durch den Einsatz von Chemikalien im Raum wurde ein getrenntes Luftauf-bereitungssystem konzipiert