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Charakteristik

Aufgabenstellung: Für die Neuentwicklung von Halbleiterkomponennten musste ein Reinraum ISO- 7 gebaut werden mit der Vorbereitung eines Upgrades auf ISO 6. Durch den Einsatz von Chemikalien im Raum wurde ein getrenntes Luftaufbereitungssystem konzipiert.

Charakteristik

Aufgabenstellung: Für die Neuentwicklung von Halbleiterkomponennten musste ein Reinraum ISO- 7 gebaut werden mit der Vorbereitung eines Upgrades auf ISO 6. Durch den Einsatz von Chemikalien im Raum wurde ein getrenntes Luftaufbereitungssystem konzipiert.